プラズマ処理

バイオ技術への応用:プラズマ処理の基礎知識6

前回は、プラズマの表面処理技術を解説しました。今回は、プラズマのバイオ技術応用について説明します。前回紹介した、大気圧で容易に扱える低温プラズマの出現がバイオ技術にパラダイムシフトをもたらし、次々と新しい知見が得られています。バイオ技術へ…

表面処理技術:プラズマ処理の基礎知識5

今回は、プラズマによる材料の表面改質にスポットを当てて解説します。金属の表面硬化や樹脂材料の接着性・塗装性の改善において、プラズマ処理は重要な技術になっています。これらの技術の概要に加えて、こうした処理に適した新しいプラズマ源として期待さ…

エッチング技術:プラズマ処理の基礎知識4

今回は、材料を削って加工するエッチング技術を解説します。エッチング液を用いた化学的なエッチングの代替にとどまらず、プラズマにしかできない超微細な加工が可能になるこの技術について、その原理と応用製品を紹介していきます。

薄膜堆積技術:プラズマ処理の基礎知識3

今回は、プラズマを利用した薄膜堆積(形成)技術について解説します。非平衡プラズマを応用すると、基板やガスを高温にしなくても半導体薄膜や高分子薄膜を形成することができます。代表的な例が、アモルファスSi半導体膜です。他の製膜手法では実現が難し…

プラズマの発生方法:プラズマ処理の基礎知識2

今回は、プラズマの発生方法を説明します。放電条件や構造の違いにより、さまざまなプラズマが生成できます。本稿では、次回以降でふれる予定の、プラズマ処理技術に用いられる主要なプラズマ源について説明します。具体的にはグロー放電プラズマ、アーク放…

プラズマの種類と特徴:プラズマ処理の基礎知識1

プラズマ処理について理解するためには、まずプラズマとはどんなもので、どんな特徴を有するのかを知ることがその第一歩となります。本連載では、全6回にわたり、プラズマ処理の基礎知識を解説します。第1回は、プラズマの基本概念と、その中で起こっている…